干涉显微镜栏

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  扫描干涉显微镜 ZNA-W1510  白光干涉仪        欢迎致电:021-50936266

非接触扫描干涉显微镜

   一、用途:



纳米显微镜-纳米测高仪

     扫描干涉显微镜是利用 光的干涉现象来测量精密加工零件表面三维形
  貌的仪器。高度方向(Z轴)的分辨率达0.1nm(纳米),属纳米级测量显微
  镜,又被称为纳米显微镜三维形貌测量显微镜白光干涉仪
     通过计算机的软件处理后,可获得被测物表面的精细结构,因此可用于
  微小零件的精密测量。如光学微元件、集成电路刻线、膜层厚度、表面光洁
  度等。该仪器采用可见白光光源,避免了激光对人眼的危险性和对被测物的
  损害。对加工纹路混乱的表面及低反射率的工件表面也能进行测量。而且,
  采用非接触测量和面扫描,避免了扫描隧道显微镜的许多缺陷。
     扫描干涉显微镜特点:纳米级高度三维测量,非接触高速度面扫描,表
  面形状的二维几何测量及三维体积测量,透明/非透明物体表面都可测量。
     扫描干涉显微镜适用于电子、光学、精密加工等企业做精密测量工具,
  也适用于高等院校、科研单位做科学实验仪器。
  

白光干涉仪-纳米显微镜

 二、主要技术规格:



白光干涉物镜
ZNA-objective

    干涉物镜 10X 20X(选购) 50X(选购)
    测量范围(直径) 0.5mm 0.25mm 0.1mm
   垂直扫描测量范围 100μm (选购:400μm)
   垂直扫描分辨率 0.1 nm
   扫描速度 12μm/s
   工作台升程(Z轴) 80mm
   X、Y方向移动范围 150x100mm
   位置数字显示 X、Y、Z三轴数字显示(分辨率:1μm)

光导线截面高度测量

 三、仪器配置:
    1、仪器主体           1台
    2、10X干涉物镜        1只
    3、垂直扫描控制器     1件 (100μm)
    4、光纤冷光源         1件
    5、防震平台           1件
    6、图像处理软件ImgScan  1套
    7、图像分析软件PostTopo  1套
    8、计算机             1台(含图像卡及2台显示器)
 四、选购件:
    垂直扫描控制器(400μm),20X/50X干涉物镜,标准高度规。

产品的规格参数随技术的发展会有所更新,欢迎咨询。

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